スイッチング電源

半導体製造装置用電源

製品概要

当社では、お客様のご要望や用途に合わせたマイクロ波電源システムとしての高電圧電源部および発振器部の設計・製造を行っています。

開発実績

  • 1.5kW マイクロ波電源システム
  • 1.6kW パルスマイクロ波電源システム
  • 5kW マイクロ波電源システム

これらのマイクロ波電源システムは高性能化する様々な機器を生産する過程で必要不可欠なものになっており、以下の用途で幅広く使用されております。

  • 携帯電話や電化製品で使用される半導体素子の製造工程
  • ダイヤモンド等の高品質薄膜を蒸着する薄膜生成工程
    (レンズやミラー、工具等を傷から守るため、表面に薄膜を蒸着)
  • 食品の加熱・殺菌・乾燥といった加工工程

また当社ではマイクロ波電源システム以外にも、これまでに培ってインバータ技術や制御技術のノウハウを活かし、高電圧電源の設計・開発も行っています。